В пособии изложена теория основных методов исследования(оптические,рентгенодифракционные,электроннографические)структуры магнитных и немагнитных полупроводниковых и диэлектрических кристаллов и эпитаксильных пленок и устройств на их основе,а также металлических материлов.Рассмотрены обл.примен.указанных методов исследов.Т.