Уважаемые покупатели! В настоящий момент мы находимся в отпуске и не можем быстро обрабатывать Ваши заказы. Все поступившие заказы будут обработаны после 1 декабря. Приносим извинения за доставленные неудобства.
Нет в наличии
Изложен процесс фотолитографии в производстве изделий полупроводниковой электроники и микроэлектроники, описаны методы изготовления фотошаблонов и основное оптикомеханическое оборудование для этих целей, а также контрольно-измерительные приборы разработки народного предприятия Карл Цейсс Йена для оценки характеристик фотошаблонов. Приведены основные соотношения классической оптики применительно к технике изготовления фотошаблонов и фотолитографии и инструментальные погрешности при изготовлении фотошаблонов.
НаучКнига. Сайт основан на движке Inozem | Служебный вход | © НаучКнига 2015-2017 Страница сгенерирована за 0.1с. |