Уважаемые покупатели! В настоящий момент мы находимся в отпуске и не можем быстро обрабатывать Ваши заказы. Все поступившие заказы будут обработаны после 1 декабря. Приносим извинения за доставленные неудобства.

Поиск

Категории

Фотолитография и оптика.

Сборник. Под ред. Я.А.Федотова и Г.Поля.
ID
32755
Год издания
1974
Издательство
Советское Радио - Техника,
Страниц
392с.с илл.
Переплёт
твёрдый
Формат
обычный

 Нет в наличии

Изложен процесс фотолитографии в производстве изделий полупроводниковой электроники и микроэлектроники, описаны методы изготовления фотошаблонов и основное оптикомеханическое оборудование для этих целей, а также контрольно-измерительные приборы разработки народного предприятия Карл Цейсс Йена для оценки характеристик фотошаблонов. Приведены основные соотношения классической оптики применительно к технике изготовления фотошаблонов и фотолитографии и инструментальные погрешности при изготовлении фотошаблонов.

НаучКнига.
Сайт основан на движке Inozem
Служебный вход© НаучКнига 2015-2017
Страница сгенерирована за 0.1с.